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無塵室對應

超精密減壓閥RS系列

特長

壓力控制方式是因為采用滾動膜片與計量膜合的伺服平衡方式,可以實現無塵室對應的精密的壓力調整的超精密減壓閥。

無塵規格
因為部品是不銹鋼及氟橡膠,其他的部品全部為非電解鍍鎳處理,產生的雜質非常少。
歧管安裝對應
歧管連接配管可能。
排氣口裝備
因為排氣孔,溢流孔,可以連接排氣用配管;排氣空氣及溢流空氣都可以排到無塵室以外。
高精度
可以實現感度0.1%F.S.,反復再現性±0.1%F.S.的高精度控制。

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規格

RS-4 RS-8
使用流體 清潔壓縮空氣
壓力設定范圍 (MPa) 0.014~0.42 0.014~0.84
進口壓力設定范圍 (MPa) 1. Max.
排氣的有無
反復再現性 (%.F.S) ±0.1以內
感度 (%.F.S) 0.1以內
空氣消費量 (Nl/min) 3.7以內
使用溫度范圍 (℃) 5~60
配管連接口徑 Rc 1/4、歧管型
壓力表連接口徑 (Rc(PT)) 1/4
支架 標準配置(歧管型以外)
質量 (kg) 0.41

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型號表示方法

型號表示方法

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特性

特性

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外觀尺寸圖

外觀尺寸圖

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